致力于納米技術(shù)在電子信息與表面技術(shù)領(lǐng)域的應(yīng)用，研究實(shí)用新型納米電子信息材料、器件、裝備制造技術(shù)及薄膜表面技術(shù)的應(yīng)用，建立滿足市場需求的納米電子信息及表面技術(shù)應(yīng)用平臺，促進(jìn)我國納米技術(shù)在信息材料與表面技術(shù)領(lǐng)域的發(fā)展。
實(shí)用納米電子信息材料與器件的研發(fā)，新型微納米傳感材料與器件的開發(fā)，新型薄膜材料研制，新型納米材料加工裝備，信息材料表面性能、形貌測試服務(wù)及相關(guān)測試技術(shù)。
1. 低維半導(dǎo)體納米材料制備及其應(yīng)用；
2. 新型納米半導(dǎo)體（光電、電磁等）材料與器件開發(fā)；
3. 新型氣敏傳感材料、器件及其測試系統(tǒng)開發(fā)；
4. 新型納米薄膜及其制備技術(shù)研發(fā)；
5. 基于原子層沉積技術(shù)的加工技術(shù)及裝備開發(fā)。
技術(shù)方面：系統(tǒng)研究了多種低維納米半導(dǎo)體材料結(jié)構(gòu)與性能關(guān)系，掌握了低維納米半導(dǎo)體材料的制備及結(jié)構(gòu)調(diào)控技術(shù)；開發(fā)了多種低維納米氣體傳感材料、光電功能材料、器件、功能薄膜材料及納米薄膜加工裝備。
科研方面：多年來承擔(dān)國家、地方、企事業(yè)研發(fā)和服務(wù)項(xiàng)目累計(jì)40余項(xiàng)；申請國家發(fā)明專利100多項(xiàng)，其中授權(quán)40余項(xiàng)；開發(fā)各類技術(shù)成果及產(chǎn)品近20項(xiàng)；在有關(guān)期刊和會議發(fā)表論文60余篇。
硬件方面：擁有先進(jìn)的納米電子功能材料及其器件的制備及檢測手段，氣體傳感材料、器件以及檢測系統(tǒng)研究開發(fā)手段；大尺寸原子層沉積系統(tǒng)等新型納米薄膜加工、檢測手段。
團(tuán)隊(duì)方面：聘請國內(nèi)多位知名專家為兼職/顧問教授，建立了一支具有豐富經(jīng)驗(yàn)的產(chǎn)學(xué)研用技術(shù)團(tuán)隊(duì)，多人次獲得各類人才計(jì)劃稱號，并與多家高校及科研院所建立了長期的合作關(guān)系。
